视觉检测系统及显微镜装载机

视觉检测系统及显微镜装载机

本公司的WL-200/300系列显微镜装载机采用最先进的技术，可适应各种各样的载体（FOUP/FOSB/SMIF/casstte）以及晶圆（晶圆可从50到1600μm厚度，6“/ 8”或8“/ 12"多尺寸）。 末端执行器还具有270度自倾斜功能，可用于全面宏观检查晶圆的正面和反面。 晶圆扫描装置扫描晶圆的位置信息，并将其存储到设备PC上，防止交错片和重片。机械手将完成定位的晶圆放置到显微镜工作台上，然后即可进行晶圆检测。