PRELUDE WAFER TOP PICK (UN)PACKER
提供由晶圆八角太空盒或蛋糕盒(wafer shipping box )取放晶圆及传送至 Cassette/ FOUP/ FOSB 之自动化解决方案;防止因人工作业造成的污染或破片 。 系统将侦测盒内晶圆距离,可安全地由晶圆之正面进行取/放,系统可分辧多种材及颜色之隔离材料 (Separator) ,并侦测重曡之隔离纸以放於正确之位置。
支持晶圆jar包装/拆包,仅接触晶圆正面
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