高精度晶圆ID标示分类系统

高精度晶圆ID标示分类系统

提供最佳晶圆及玻璃ID标示自动化解决方案，DM-200/DM-300 CO2激光打标/划线/分拣系统配备有一个3轴同步激光控制系统以精确标记和改善在传统大平面打标的扭曲问题。

高智能自动化系统可确保安全地由晶圆的正面进行取放：配有智能型轻触式机能（SoftTouch)以随时微调抓取力（1N~7N），故能安全无应力地防止晶圆移位和旋转。