視覺檢測系統及顯微鏡裝載機

視覺檢測系統及顯微鏡裝載機

本公司的WL-200/300系列顯微鏡裝載機採用最先進的技術，可適應各種各樣的載體（FOUP/FOSB/SMIF/casstte）以及晶圓（晶圓可從50到1600μm厚度，6“ / 8”或8“/ 12"多尺寸）。末端執行器還具有270度自傾斜功能，可用於全面宏觀檢查晶圓的正面和反面。 晶圓掃描裝置掃描晶圓的位置信息，並將其存儲到設備PC上，防止交錯片和重片。機械手將完成定位的晶圓放置到顯微鏡工作台上，然後即可進行晶圓檢測。